제품소개

VALVE FLUSHING UNIT

VALVE FLUSHING UNIT이란?

반도체 공정의 미세화에 따라 부품 세정이 미흡한 상태에서 부품 조립이 되어 설비로 유입되는 약액을 통해 오염원을 이송시켜 Wafer제조 공정 시 역오염에 의한 제조 수율 저하에 영향을 줌.

설비 조립 수행 전 오염된 Valve류를 Valve Flushing Unit을 이용하여 이물질 세정을 실시 한 후 조립을 실시한다. 조립 전 세정으로 설비의 오염을 최소하고 또한 Wafer 공정 수행 시 역오염을 최소화 하기 위한 설비