COOLING & RECYCLE UNIT
COOLING & RECYCLE UNIT이란?
2가지 기능을 보유한 설비
첫째는 고온 약액을 냉각 시켜주는 기능
둘째는 고가의 약액을 Life Time까지
재생하여 사용하도록 하는 기능
COOLING UNIT
고온으로 사용한 폐액을 공정이 완료된 후
Drain 배관을 통해 버리기 전 Drain 배관의
허용온도 범위로 폐액을 냉각 하는 설비
RECYCLE UNIT
Clean 공정을 수행 후 폐액으로 수거하여
약액필터를 이용 미세한 불순물질를 제거하여
재사용이 가능하도록 하는 설비