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현재 SPACE / INFRA
| 구분 | 면적 | Class |
|---|---|---|
| New Factory | 1980m2 (600평) | 10,000 ↓ (실측치 200이하) |
| DIW | |||
|---|---|---|---|
| 구분 | 기준 | 실측값 | |
| 비저항 | 17 ㏁ ↑ | 18.25 ㏁ | |
| Supply Pressure | 0.3~0.4 MPa | 0.35 MPa | |
| TOC | 500 ppb ↓ | 90 ppb | |
| Bacteria | 무검출 | 무검출 | |
| AIR | |||
|---|---|---|---|
| 구분 | 기준 | 실측값 | |
| Particle(V/V OPEN) | 100 ea↓ | 0 ea | |
| Particle(V/V CLOSE) | 100 ea↓ | 6~54 ea | |