| 2022 |
00 |
* * *_ * * * * * * 개발중 |
| 00 |
O3 발생기 _ O3 GENERATOR 개발중 |
| 2021 |
12 |
CHEMICAL 히터 및 히터파손 검사장치 _ Chemical heater 개발관련 특허보유 (특허 제10-1815151호, 특허 제10-2332306호) |
| 10 |
COOLING & RECYCLE _ All New Cooling-SMART QUICK New Version 개발관련 특허보유 (특허 제10-2338583호) |
| 2020 |
12 |
밸브세정장치 _ VALVE FLUSHING Unit(VF-100)_개발관련 특허보유 (특허 제10-2209540호) |
| 06 |
산세정 장치 _ Acid Clean System 개발중(V/V류,PUMP류,TUBE류,접액라인PART’S) |
| 2018 |
09 |
IPA공급장치 가스발생 저감장치 일체형 _ e – IPA SYSTEM 개발 |
| 05 |
간이공급장치 _ 공정개발실 내 약액별 (8Module) 공급장치 개발 |
| 03 |
약액공급장치 _ PR Develop 공급장치 개발 |
| 2016 |
11 |
COOLING _ 2Tank, 1Tank Type Unit 개발 |
| 09 |
인라인 믹싱 히터장치 개발 |
| 2015 |
11 |
C & R _ Cooling + Recycle Unit 개발 |
| 07 |
IMS _ SC-1, H2O2 Unit 개발 |
| 05 |
HBK _ Recycle Unit 개발 |
| 2012 |
11 |
EW(CW) _ 전해이온수 Unit 개발 |
| 08 |
H2SO4 _ Recycle Unit 개발 |
| 2009 |
09 |
COOLING Unit 개발 |
주요실적